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众所周知,在元素周期表中,氦(He)的相对分子质量是除氢(H)以外小的,是轻的惰性气体。气体管道的氦气检漏(氦检)利用的就是这一点。
1.高纯度散装气体管道氦气检漏方法应采用向内检漏法、阀座检漏法和向外检漏法。
2.向内检漏法(氦气注入法)是通过内部吸入高纯度气体管线,外部喷射氦气来进行的。
3.检测阀座泄漏的方法必须在阀门前充入氦气,并在下游抽真空。
4.必须使用朝外检漏法(吸法)在高纯度气体管线内填充氦气或氦氮混合物,并使用外部吸检查可能的泄漏点。
5.氦检漏仪必须是质谱氦检漏器,检测精度不低于